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激光干涉测量

发布时间:2015/5/28 21:42:00 访问次数:583

   例3 -4图3-8所示为一激光干涉测量装置的光路图。激光器发出的激光束被移相分光镜分裂为两束,MAX122ACWG两个角耦棱镜,一个为参考镜,另一个为与被测件相连接的可动镜。仪器在调整时,应使得可动镜的运动方向与激光束水平方向的光轴平行,若两者存在夹角AO,当被测长度(可动镜的移动距离)为L时,则从光电接收器接收的脉冲数所反映的长度为£7。求其测量误差A/。

     

   可见由于导轨方向调整不正确所引起的测量误差为二阶微量。不过,当被测的长度

£较大时,导轨方向的调整,还是要尽量使AO值为最小。如△臼=0.11100,当L=200mm时.

   几何法的优点是简单、直观,但应用在复杂机构上则较为困难。

   针对机构误差的特点,还有一些求测量误差的其他方法,如逐步投影法、瞬时臂法等。

   例3 -4图3-8所示为一激光干涉测量装置的光路图。激光器发出的激光束被移相分光镜分裂为两束,MAX122ACWG两个角耦棱镜,一个为参考镜,另一个为与被测件相连接的可动镜。仪器在调整时,应使得可动镜的运动方向与激光束水平方向的光轴平行,若两者存在夹角AO,当被测长度(可动镜的移动距离)为L时,则从光电接收器接收的脉冲数所反映的长度为£7。求其测量误差A/。

     

   可见由于导轨方向调整不正确所引起的测量误差为二阶微量。不过,当被测的长度

£较大时,导轨方向的调整,还是要尽量使AO值为最小。如△臼=0.11100,当L=200mm时.

   几何法的优点是简单、直观,但应用在复杂机构上则较为困难。

   针对机构误差的特点,还有一些求测量误差的其他方法,如逐步投影法、瞬时臂法等。

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5-28激光干涉测量

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