激光干涉测量
发布时间:2015/5/28 21:42:00 访问次数:583
例3 -4图3-8所示为一激光干涉测量装置的光路图。激光器发出的激光束被移相分光镜分裂为两束,MAX122ACWG两个角耦棱镜,一个为参考镜,另一个为与被测件相连接的可动镜。仪器在调整时,应使得可动镜的运动方向与激光束水平方向的光轴平行,若两者存在夹角AO,当被测长度(可动镜的移动距离)为L时,则从光电接收器接收的脉冲数所反映的长度为£7。求其测量误差A/。
可见由于导轨方向调整不正确所引起的测量误差为二阶微量。不过,当被测的长度
£较大时,导轨方向的调整,还是要尽量使AO值为最小。如△臼=0.11100,当L=200mm时.
几何法的优点是简单、直观,但应用在复杂机构上则较为困难。
针对机构误差的特点,还有一些求测量误差的其他方法,如逐步投影法、瞬时臂法等。
例3 -4图3-8所示为一激光干涉测量装置的光路图。激光器发出的激光束被移相分光镜分裂为两束,MAX122ACWG两个角耦棱镜,一个为参考镜,另一个为与被测件相连接的可动镜。仪器在调整时,应使得可动镜的运动方向与激光束水平方向的光轴平行,若两者存在夹角AO,当被测长度(可动镜的移动距离)为L时,则从光电接收器接收的脉冲数所反映的长度为£7。求其测量误差A/。
可见由于导轨方向调整不正确所引起的测量误差为二阶微量。不过,当被测的长度
£较大时,导轨方向的调整,还是要尽量使AO值为最小。如△臼=0.11100,当L=200mm时.
几何法的优点是简单、直观,但应用在复杂机构上则较为困难。
针对机构误差的特点,还有一些求测量误差的其他方法,如逐步投影法、瞬时臂法等。
上一篇:作用线与瞬时臂法
热门点击
- 数字签名必须保证能够实现以下三点功能
- 激光准直仪的原理和基本结构
- 临界照明
- 从上面的讨论可以看出,光外差检测具有以下几个
- 双折射现象
- 系统软件总体流程图
- 迈克尔逊干涉仪
- 干涉信号的移相技术
- 光的时间相干性决定于光源的单色性
- 不直度的测量
推荐技术资料
- 泰克新发布的DSA830
- 泰克新发布的DSA8300在一台仪器中同时实现时域和频域分析,DS... [详细]