对于平直度测量也是符合布莱恩原则
发布时间:2015/5/23 20:56:23 访问次数:1546
图2 - 31所示为y-z两坐标测量机结构囹。对于z轴,激光干涉仪轴线的延长线通过测端17的中心。对于y轴,虽然),F85226AF方向激光干涉仪轴线的延长线并不通过测端的中心,但y方向上有上下两个激光干涉仪7和9,这两个干涉仪的读数差用来作为伺服输入信号,去驱动支撑在y向工作台一端的压电晶体16,校正了滑块14在移动过程中可能产生的倾斜,即消除了y向工作台的角运动。因此从整体看,两个方向都符合布莱恩建议(阿贝原则),区别是石方向布置在一条直线上,y方向采取消除工作台角运动的影响的方法。
对于平直度测量也是符合布莱恩原则的,平直度测量简图如图2 -32所示,用测端测工件的直线性ff,为了消除z方向滑块在移动过程中由于导轨的非直线性所引起倾斜而带来的误差,设置了由标准直尺和测微表组成的平直度测量系统。在这里布莱恩原则主
要有两点。第一,滑块没有角运动,若滑块只作左右平移,则因平移而引起的测微表的位移量和测端的位移量是相同的,因此根据测微表的位移量来修正测量结果后,就消除了因滑块左右平移造成的测量误差。第二,如滑块在移动过程中有角运动,那么设计应满足“平直度测量系统的工作点,应当位于垂直于滑板移动方向的、并通过被测的平直度的作用点的方向线上”的要求。在囹2 -32(a)中,就应使该测微表和测球中心的连线垂直于滑块的运动方向,因为只有这样布置时,当滑块有不大的转角时,测端的位移量与测微表的位移量才相等。这点可很容易地从图2 -32(b)中得到证明,当滑块绕D点有一不大的转角时,只有A点的位移量与Ao点的位移量近似相等,而A.和A2点的位移均不等于Ao点的位移。因此在滑块有转角时,用测微表的位移量来修正测量结果后,滑块的角运动也不会引起测量误差。
上述介绍的几种补偿阿贝误差的方法,可以说对仪器设计都不同程度地带来一定的难度和总体的复杂性。因此,有条件、有可能的话,尽量从结构布置上或从工艺上来减少阿贝误差(实质是减少标准量的读数线和被测量的测量线之间的距离,以及提高导轨的运动精度),这样可减少仪器设计的复杂性,同时也给调整带来很大的方便。
图2 - 31所示为y-z两坐标测量机结构囹。对于z轴,激光干涉仪轴线的延长线通过测端17的中心。对于y轴,虽然),F85226AF方向激光干涉仪轴线的延长线并不通过测端的中心,但y方向上有上下两个激光干涉仪7和9,这两个干涉仪的读数差用来作为伺服输入信号,去驱动支撑在y向工作台一端的压电晶体16,校正了滑块14在移动过程中可能产生的倾斜,即消除了y向工作台的角运动。因此从整体看,两个方向都符合布莱恩建议(阿贝原则),区别是石方向布置在一条直线上,y方向采取消除工作台角运动的影响的方法。
对于平直度测量也是符合布莱恩原则的,平直度测量简图如图2 -32所示,用测端测工件的直线性ff,为了消除z方向滑块在移动过程中由于导轨的非直线性所引起倾斜而带来的误差,设置了由标准直尺和测微表组成的平直度测量系统。在这里布莱恩原则主
要有两点。第一,滑块没有角运动,若滑块只作左右平移,则因平移而引起的测微表的位移量和测端的位移量是相同的,因此根据测微表的位移量来修正测量结果后,就消除了因滑块左右平移造成的测量误差。第二,如滑块在移动过程中有角运动,那么设计应满足“平直度测量系统的工作点,应当位于垂直于滑板移动方向的、并通过被测的平直度的作用点的方向线上”的要求。在囹2 -32(a)中,就应使该测微表和测球中心的连线垂直于滑块的运动方向,因为只有这样布置时,当滑块有不大的转角时,测端的位移量与测微表的位移量才相等。这点可很容易地从图2 -32(b)中得到证明,当滑块绕D点有一不大的转角时,只有A点的位移量与Ao点的位移量近似相等,而A.和A2点的位移均不等于Ao点的位移。因此在滑块有转角时,用测微表的位移量来修正测量结果后,滑块的角运动也不会引起测量误差。
上述介绍的几种补偿阿贝误差的方法,可以说对仪器设计都不同程度地带来一定的难度和总体的复杂性。因此,有条件、有可能的话,尽量从结构布置上或从工艺上来减少阿贝误差(实质是减少标准量的读数线和被测量的测量线之间的距离,以及提高导轨的运动精度),这样可减少仪器设计的复杂性,同时也给调整带来很大的方便。
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