这是目前计量领域中应用最广、 EP1C4F324C6N精度最高的方法。在测长距离的情况下可以在50m以内突现误差公式：±(0.1+10 -6/) pm;在测量微小位移时可以得到优于0.Inm的分辨率。在测角中的应用可以得到0.1”或更高的精度。干涉原理广泛应用于粗糙度测量、平

面度测量以及变形测量等。

   激光小角度测量法是干涉原理典型的应用。

   激光小角度测量仪就是将R固定，用激光干涉测长的办法测出日，即可得出a值。图2-6是激光小角度的测量原理图。激光器l发出的激光光束经分光器3分成两路：一路沿光路口射向角锥镜2；一路沿光路6射向参考镜4。当棱镜在位置，时，沿光路口前进的

光束经角锥棱镜旋转1800后，沿光路c射向平面反射镜5，然后被反射镜反射，从原路返回到分光器，并与从6路返回的参考光束会合而产生干涉。当棱镜移到位置Ⅱ后，沿光路口前进的光束由于棱镜Ⅱ及平面反射镜5的作用，使它们仍按原路返回，不产生光点移动，从而干涉图形相对接收元件的位置保持不变。