双频激光测量振动
发布时间:2015/5/14 22:19:27 访问次数:822
如图9 -12所示,双频激光被偏振分光镜分成两束,振动方向与纸面正交的厶向上通过A/4波片, ICE2PCS02并被角锥棱镜反射回来。振动方向与纸面平行的fi向右通过A/4波片,被透镜聚焦到装在待测振动体上的反射镜或抛光物面S上,S左右振动,引起反射光的频移甑。这两束光在偏振分光镜汇合前,都两次通过A/4波片,振动方向转过900。原先透过偏振分光镜的fi现在被反射向下,原先被反射的厶现在透过偏振分光镜向下。f2与fi+Alfi汇合后,经直角棱
镜反射到光检测器,转换为电信号,再经过专门的电路处理,就可得到待测的振幅、频率或周期。
图9 -12双频激光测量振动原理图
9 -1 简要说明二维色分离测速光路与二维偏振分离测速光路的工作原理。
9-2 与单频激光干涉测长相比,双频激光测长有哪些优点?
9-3结合光路图简述双频激光精密测角和检测直线度的工作原理。
如图9 -12所示,双频激光被偏振分光镜分成两束,振动方向与纸面正交的厶向上通过A/4波片, ICE2PCS02并被角锥棱镜反射回来。振动方向与纸面平行的fi向右通过A/4波片,被透镜聚焦到装在待测振动体上的反射镜或抛光物面S上,S左右振动,引起反射光的频移甑。这两束光在偏振分光镜汇合前,都两次通过A/4波片,振动方向转过900。原先透过偏振分光镜的fi现在被反射向下,原先被反射的厶现在透过偏振分光镜向下。f2与fi+Alfi汇合后,经直角棱
镜反射到光检测器,转换为电信号,再经过专门的电路处理,就可得到待测的振幅、频率或周期。
图9 -12双频激光测量振动原理图
9 -1 简要说明二维色分离测速光路与二维偏振分离测速光路的工作原理。
9-2 与单频激光干涉测长相比,双频激光测长有哪些优点?
9-3结合光路图简述双频激光精密测角和检测直线度的工作原理。