双频激光干涉仪可以代替笨重的标准平尺和l¨m示值的千分表来检测轨床工作台的直线度。ICE2PCS01G其结构原理如图9 -11所示，双频激光束经分束镜1入射到渥拉斯顿棱镜2上。因fi、f2两个偏振光通过渥拉斯顿棱镜折射率不同，出射光被分成互成很小角度p的两束光，从精确匹配的双面反射镜3上沿原路返回。在渥拉斯顿棱镜处重新汇合的光束，经分束镜l、全反射镜4和检偏振镜，入射到光检测器。

   图9 -11直线度测量原理图

   如双面反射镜3沿石轴平移到位置3 7，fi和厶两束光光程相等，所产生的多普勒频差Afi =Af2，在减法运算器中互相抵消，计算机的显示值不变。

   如果在移动中，双面反射镜沿y方向从A落到B点，则fi酌光程比原先减少2AC，而厶的光程却增加2BD，两路总的光程差为2（AC +BD）。这是双频激光可直接测出的长度量，由图9 -11可知由计算机计算并显示出检测结果。

   以上装置也可用来测量机床上不同部件间运动的平行度，加上一个五角棱镜，又可用来测量机床的垂直度。