双频激光干涉测长原理
发布时间:2015/5/14 22:05:53 访问次数:3654
光路分析
双频激光测长原理图如图9-8所示。 HGTG30N60A4D从激光器出射的两束光疆度相等,频差很小,f2 - fi =i~2MHz,分别为左旋和右旋圆偏振光。其中少部分被分束镜Bi反射,经透振方向与纸面成450的检偏振器P,形成两束频率相近而振动方向相同的线偏振光fi和f2,产生拍频f2 - fi,由光检测器Di转换成电信号。其中,频率为f2 - fi的交流成分由参考计数器C,记录。
透过分束镜Bi与1/4波片的两束光,因振动方向互相正交而在偏振分束镜B2处分开。频率为fi的线偏振光全部反射到固定的角锥棱镜Mi上,频率为f2的线偏振光全部透射到可动的角锥棱镜M2上。从Mi、M2反射回B2后,两束光的振动方向均因两次通过1/4波片而转过900,再经450放置的检偏器P2,形成频率为f2 - fi的测量信号,为光检测器D2接收和计数器C2记录。通过减法器S连续地把C2和C.所记录的频率数进行比较,并在指示器T上显示出其偏差。
光路分析
双频激光测长原理图如图9-8所示。 HGTG30N60A4D从激光器出射的两束光疆度相等,频差很小,f2 - fi =i~2MHz,分别为左旋和右旋圆偏振光。其中少部分被分束镜Bi反射,经透振方向与纸面成450的检偏振器P,形成两束频率相近而振动方向相同的线偏振光fi和f2,产生拍频f2 - fi,由光检测器Di转换成电信号。其中,频率为f2 - fi的交流成分由参考计数器C,记录。
透过分束镜Bi与1/4波片的两束光,因振动方向互相正交而在偏振分束镜B2处分开。频率为fi的线偏振光全部反射到固定的角锥棱镜Mi上,频率为f2的线偏振光全部透射到可动的角锥棱镜M2上。从Mi、M2反射回B2后,两束光的振动方向均因两次通过1/4波片而转过900,再经450放置的检偏器P2,形成频率为f2 - fi的测量信号,为光检测器D2接收和计数器C2记录。通过减法器S连续地把C2和C.所记录的频率数进行比较,并在指示器T上显示出其偏差。
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