激光衍射的互补原理可由巴俾涅( Babinet)定理得出，如图7- 25所示。

 设一个任意形状的开孔屏，IRF520PBF在平面波照射下，接收屏上所得到的光波复振幅为Ei。在用同一平面波照射其互补屏时，接收屏上的复振幅为E2，则当互补屏叠加时，由于开孔消失，在接收屏上的光强分布也应为零，即有E =Ei+E2 =0，因此有Ei=- E2．I Eil2=I E212。表明，由两个互补屏所产生的衍射图形其形状和光强完全相同，仅复振幅相相位差订。利用这种效

应，就可以应用同样的原理来对各种细丝或薄带厚度尺寸进行高精确度的非接触测量。

   图7 -26所示为测量细丝直径的原理图，利用透镜将衍射条纹成像于透镜的焦平面上，式中，s为暗条纹间距；Xh为五级暗条纹的位置；厂为透镜焦距。