金属板置于变化着的磁场中，G692L463TCU或者在固定磁场中运动时，金属体内就会产生感应电流，这种电流的流线在金属体内是闭合的，所以叫作涡流。电涡流式位移传感器通过自身线圈产生变化的磁场，金属体在磁场内产生涡流，传感器再通过电磁应感受涡流的变化来实现对参数的测量。由于存在集肤效应，因此，涡流渗透的深度是与传感器线圈励磁电流的频率有关的。电涡流式位移传感器主要可分为高频反射式涡流传感器和低频透射式涡流传感器两类。高频反射式涡流传感器的应用较为广泛。

   如图5 -22所示，传感器线圈￡距厚金属板高石。线圈通以高频信号，产生的高频电磁场作用于金属板的表面。金属板表面感应产生涡流，其产生的电磁场又反作用于线圈L上，使线圈电感等效变化，其变化程度取决于线圈￡的外形尺寸、线圈￡至金属板之间的距离戈、金属板材料的电阻p和导磁率肛（p及肛均与材质及温度有关），以及i。的频率等。由于趋肤效应，高频电磁场不能透过具有一定厚度的金属板，而仅作用于表面的薄层内，这就保

证了传感器感应的信号来自金属板反射，故名高频反射式涡流传感器。对非导磁金属(弘一1)而言，若i。及￡等参数已定，金属板的厚度远大于涡流渗透深度时，则表面感应的涡流几乎只取决于线圈￡至金属板的距离，而与板厚及电阻率的变化无关。

   如图5 -23所示为高频反射式涡流传感器等效电路。电感￡：与电阻R2分别表示金属板对涡流呈现的电感效应和在金属板上的涡流损耗，用互感系数M表示三：与原线圈厶之间的相互作用，R．为原线圈L，的损耗电阻。

   图5 -22涡流的产生    图5-23高频反射式涡流传感器的等效电路