位置:51电子网 » 企业新闻

1N5349B

发布时间:2018/12/20 15:24:00 访问次数:132发布企业:深圳市金泰福电子科技有限公司

稳压二极管:1N5349BRLR
品牌: ON
参数:5W12V
封装:CASE17-02
现货:有大量现货!
深圳市金泰福电子科技有限公司
公司主营:二极管,三极管,整流桥,集成IC,电解电容,电阻等电子元器件!
公司秉着:全面!专业!优势!的服务宗旨,与广大新老客户保持着良好的合作!
电话:0755-23480723
手机:(同微信)13790883148

QQ:102537450
网址:www.jtfdzkj.com

地址:深圳市福田区中航路新亚洲二期N1A146


射频(RF)滤波器已成为电子系统小型化、集成化及芯片化的瓶颈之一。薄膜体声波谐振器(FBAR)是目前在500MHz~20GHz频段实现高性能滤波器芯片化的重要途径。FBAR是一种基于体声波(BAW)的新型电声谐振器,通过压电薄膜的逆压电效应将电能转换成声波并形成谐振。基于测试与性能表征的方法。另外,也未见文献报道低阻硅衬底对BAW 滤波器性能的影响。

为了表征本课题组研制的L波段BAW 滤波器第一轮工艺样品的性能,使用射频探针台和矢量网络分析仪(VNA)测得其S 参数。为了从测得的S参数便捷地计算出BAW 滤波器的各项性能参数,在ADS软件环境下建立了BAW 滤波器性能参数的解算流程。此外,还根据测试和表征结果,讨论了低阻硅衬底和器件工艺误差对BAW 滤波器性能的影响。

1 BAW 滤波器的工作原理及结构

BAW 滤波器多采用梯形拓扑结构,由一组串联FBAR 和一组并联FBAR 构成。所有串联的FBAR有相同的谐振频率,所有并联的FBAR有另一个相同的谐振频率,后者比前者略低。图1为梯形拓扑结构BAW 滤波器的频率特性。为了获得中心频率为f0、通带带宽为Δf 的窄带带通滤波器,串联FBAR的串联谐振频率和并联谐振频率分别为f0和f0+Δf/2,并联FBAR的串联谐振频率和并联谐振频率分别为f0-Δf/2和f0。串联FBAR的并联谐振频率构成了BAW 带通滤波器的上阻带衰减点,并联FBAR的串联谐振频率构成了BAW带通滤波器的下阻带衰减点。当输入信号频率为f0时,谐振频率为f0的串联FBAR处于谐振状态,呈低阻状态;此时,并联FBAR偏离谐振状态,呈高阻状态;因此电路对频率为f0的输入信号无大的衰减。当输入信号频率为f0-Δf/2时,由于此时并联FBAR呈低阻状态、串联FBAR呈高阻状态,信号传输过程将经历多次衰减。同理,当输入信号频率为f0+Δf/2时,信号传输过程也将经历多次衰减。这样便实现了输入信号的滤波[4]。

本文的待测器件(DUT)为BAW 窄带带通滤波器,其构成单元通孔型FBAR如图2(a)所示。为了加工方便,构成滤波器芯片的8个FBAR单元置于同一个支撑膜片上,采用深反应离子刻蚀(DRIE)微加工背腔形成支撑膜片。支撑膜片是支撑层和温度补偿层的复合,以抑制FBAR 的频率温度系数(TCF)。为了与射频探针台配备的G-S-G 探针兼容,BAW 滤波器的焊盘设计成边长为60μm 的正方形,焊盘间距为100μm;由图2(b)可知,外侧为接地焊盘(G),中间为信号焊盘(S);接地线环绕构成滤波器的8个FBAR单元以屏蔽电磁干扰。由于BAW 滤波器为二端口器件,将两组G-S-G焊盘分别设置在滤波器的两侧,且两侧的S焊盘分别与相应FBAR单元的底电极相连。表1为BAW 滤波器中各FBAR单元的结构参数。

2 测试

采用射频探针台(CASCADE 12000)和矢量网络分析仪(R&S ZVA67)测量BAW 滤波器芯片的S 参数。BAW 滤波器中心频率的设计值约为1.5GHz,由于是对第一轮流片的滤波器芯片进行测试,VNA 扫频范围为0.5~2.5GHz,扫频步长为1MHz。图3为测试系统的照片及原理框图。

测量前需要首先校准测试系统,以消除系统误差。具体方法是在探针台所附显微镜的协助下,利用负载标准衬底,按照开路-短路-负载的校准步骤校准。负载标准衬底上有3 种标准负载(见图4(a)~(c)),分别表示“开路”、“短路”和“50Ω”。本文采用2-Port LRRM (线-反射-反射-匹配)的校准模式,该模式具有自动补偿功能,可消除探头位置变化引起的多种误差,适用于圆片级测试。
 用于射频探针测试校准的负载标准衬底

接着进行BAW 滤波器芯片的片上射频探针测试。将滤波器圆片真空吸附在探针台的承片台上。

在探针台显微镜的辅助下,将G-S-G探针对应压紧滤波器芯片的G-S-G焊盘,探针另一端通过射频电缆连接到VNA。图5为射频探针测试时由探针台显微镜获取的多幅BAW 滤波器芯片照片;由图可知,G-S-G探针已压在芯片的G-S-G 焊盘上,构成每个滤波器芯片的8个FBAR均位于衬底背面掏空的膜片(较黑的矩形区域)上。射频探针台配置的WinCal软件将射频探针测试结果记录在后缀名为wrp的数据文件中,包括了S11、S12、S21和S22的测试数据。通过WinCal软件可将wrp文件转换为便于ADS软件处理的后缀名为S2P的文件。

SMBJ12A SMBJ12CA SMBJ15A SMBJ15CA SMBJ18A SMBJ18CA SA5.0A SA5.0CA SA6.0A SA6.0CA SA15A SA15CA 2EZ12D5 2EZ15D5 2EZ24D5 3EZ12D5 3EZ15D5 3EZ24D5 P6KE6.8A P6KE6.8CA P6KE200A P6KE200CA SM8S36A SM8S33A 0201 0402 0603 0805 1210 1206 电阻 1N4007 FR107 1N5819 SR240 SS14 SS34 ES1J

相关新闻

相关型号