半导体产品仍是消费电子特种气体的主力军，但光伏技术的发展加大了电子工业气体的需求量。只要石油价格继续保持在高位，光伏技术就将得到大量应用，全球电子工业气体需求也将随之激增。

总部设在美国加州圣何塞市的半导体设备和材料协会（semi）预测，全球光伏市场将从2007年的130亿美元增长到2012年的超过400亿美元。美国市场研究公司弗里多尼亚集团称，全球工业气体市场2005年达410亿美元，预计2010年将达510亿美元。

电子工业气体主要用于薄膜沉积，如化学气相沉积（cvd）或物理气相沉积（pvd法），这些技术主要用来制造半导体或光伏电池。三氟化氮（nf3）、硅烷（sih4）和氨气是用于半导体、液晶显示器（lcd）和光伏技术领域的三大主要电子工业气体。

薄膜太阳能电池在不同领域、不同自然条件下的普及应用，使其生产过程中必不可少的电子工业气体消费量以较快速度增长。美国工业气体供应商空气化工产品公司近日预测，全球太阳能电池产能将以年均30%以上的速度增长。

未来第二代超薄薄膜硅光伏技术的发展，将刺激特种工业气体需求继续加快增长。空气化工产品公司2007年底对外宣布，将对其设在韩国蔚山的nf3装置进行扩能改造，到2009年，该基地的产能将扩大一倍达1000吨年。另外，该公司还在美国宾夕法尼亚州建有总产能达2200吨年的nf3装置。

总部设在德国慕尼黑的瓦克公司预测，多晶硅的年需求将以10％速度增长。另有一家咨询公司指出，90%的光伏电池是以电子级多晶硅为原料，大多数太阳能级多晶硅以氯硅烷作为一种中间介质，并通过气态工艺过程加工而成。