如果任何几种缺陷(见图4-141)的共同作用或由于金属化层的变薄使主载流方向横截面上金属条横截面的面积减少了50%以上,该钝化层台阶上的金属化层不应接收。当下述

   (l)~(3)条件得到满足时,可接收判据为不小于30%。与主载电流方向不垂直的钝化层台阶处金属层应将其投影到与主载流方向垂直的横截面上,GAL16V8D-10LJ 并由此计算出横截面积的减少。在看不到能明显表示有效覆盖的棱边、平缓过渡或斜坡的情况下,应通过物理横截剖面方法或采用测试结构验证台阶覆盖百分比。对几何尺寸不大于15um的金属条,只有通过物理横截剖面或测试结构确定的钝化层台阶覆盖结果才是可信的:

    钝化层合阶卜金属层的截面(放大)

    在台阶上由于缺陷和变薄的综合作用,使金属化层的截面积减少为不到水平表面上淀积的金属化层截面积的50%,应拒收。

    图⒋141 作为接收/拒收准则的金属化层截面积变小的情况a

   (1)电流密度。计算的电流密度应小于2×105刀c′。

   (2)接触尺寸。任一边的接触尺寸或直径应不大于3um。

   (3)金属化层覆盖。接触窗口四边或圆形接触孔周长被金属化层覆盖的部分不应小于75%(除非设计要求)。

   (4)不应拒收的横截面积。如果下述两个条件同时满足,即使特定方向边剖面上金属化层横截面小于50%[在满足上述(1)~(3)的情况下为30%],也不应拒收。