研究者根据机器人制造单元具体的特点,开发各种工件调度规则。Song等“剔开发一种称为最早进入时间(Earlic吼sta⒒△mc,EST)的△ LPO2506I-154LC件调度规则,其基本思想是按照先到先服务的原则来尽可能早地将工件投放到制造单元中。Chauvct等阝叨改进该规则,提出正反向最早进入时间算法(Fo抑ard Backward Earhe哎Sta⒒△mc,FBEsT)。Ⅵh等刚则提出一种结合最早进入时问和工件加工时问窗口的工件调度启发式规则。Thescll等卩1]提出的工件调度启发式规则,耍求新工件的进入不会破坏所有工件在制造单元中各个工作站上的力卩工时间窗口。sun等网进一步简化该规则,要求新工件的进入不会破坏工件在制造单元中第一个工作站上的加I时间窗口。Mak等卩刭则进一步扩展上述研究,开发一种新的△件调度启发式规则,即保证新工件的进入不会破坏前一个工件在各个工作站上的加工时间窗口。在机器人调度规则上,Thcscn等卩l]提出四种机器人动态调度规则,分别为Ncare吼RObot Frst(NRF)、 Avcragc Tank Assignmcnt(A△⒋)、 Avcragc Robot Assignmcnt(ARA)、

BoLlndaγ shiR”Job Loc舶on(B“L)。这四种规则除NRF外,其余二种规则均限制机器人只能在其固定的活动范围内执行搬运作业。踟n等田则开发一个仿真平台,对NRF、ARA、BSJL三种规则的性能进行仿真验证。M酞等卩习为进一步提高机器人的使用效率,对ATA、ARA、BSJL三种调度规则进行改进,提出ModiΠcd用队(M川队)、Mm0di丘ed ARA(MARA)、M0di丘ed BSJL(MBSJL)三种机器人调度规则。

   本章参考文献[弘]针对多集束型装备机械手活动调度问题,采用基于规则或优先级的启发式方法,而本章参考文献[75]针对双臂多集束型装备的加工模块,动态设置优先级并实施启发式调度。调度规则不能精确预测系统的产能,只能很粗略地估计,而不能准确分

析生产过程中的行为,所以也没有分析调度的最优性。集束型装备厂商使用最长等待对(Longe“Waiting hir,LW⑴规则,即晶圆在当前工序加工模块加工完成后的停留时间加上下 道工序空闲时间之和最大时,该晶圆被确定为机械手下一个搬运活动的目标。本章参考文献[77]针对晶圆的自动清洗过程,提出若干调度规则。