周炳海等采用分解策略,将双集束型装备调度问题分解成单个设备调度问题,并LPO2506I-105LC提出一种搜索机械手调度顺序的启发式算法。本章参考文献[Ω]研究单臂机械手、缓冲区容量为1、每道工序只有1个模块的两集束型装备调度问题,根据将多集束型装各分解为单集束型装备的思路,建立分解后单个集束型装备调度的线性规划模型,并提出机械手无死锁的启发式搜索算法。但是该方法不能保证获得最优解,也没有分析生产周期能否达到下界。

   光刻Track系统能够同时加工多种不同类型的晶圆,即可实现混流加工。不同类型的晶圆有着不同的加工工艺或加工路径,当中间缓冲区不足时系统存在潜在的死锁,故要解决死锁问题。本章参考文献提出一种无死锁的调度方法,即根据已知的加工路径,划分潜在死锁加工模块集合及无死锁加工模块集合,并由此提出一个死锁避免策略。考虑加工模块故障的发生,这一策略可能无法避免所有可能的死锁(如二级死锁)。为此,该方法应用了死锁检测和恢复的策略。在此基础上,提出相应的在线调度规则使

得系统无死锁运行。其本质就是在不考虑生产率的条件下求一个可行的调度方案。本章参考文献[65,66]进一步研究该问题,在充分利用晶圆加工路径柔性的基础上,给出一种有效的死锁避免策略。

   调度规则作为一种最常见的启发式方法,由于简单、易于实现和计算复杂度低,常被用于集束型装各动态调度问题中。集束型装各的调度规则包括晶圆调度规则和机械手调度规则两类,其调度规则的验证大多通过仿真方法阝刀。晶圆调度规则主要是决定晶圆的投放时间,即晶圆进入集束型装各开始加工时间;机械手调度规则主要是有效地分配晶圆搬运作业及确定其执行顺序。单臂集束型装备与机器人制造单元在物理配置上极其相似,故在此首先总结机器人制造单元调度规则的进展,然后再讨论一下集束型装备调度规则研究的进展。