集束型装备时序图建模过程
发布时间:2017/11/27 21:39:56 访问次数:653
下面介绍本章参考文献[17]利用时序图建立稳态时的吞吐量理论模型,该时序图如图2砭所示。 R0D8/26-3C60灰色的矩形表示腔体正在忙于加工晶圆,用P表示;箭头表示机械手操作序列,标注表示完成操作序列需要的时间;对于每个灰色矩形前的箭头,它所处行代表机械手操作的目的腔体;灰色矩形后的第一个箭头代表机械手把腔体中的晶圆卸载到晶圆承载室(输入/输出装载室)中。
下面介绍本章参考文献[17]利用时序图建立稳态时的吞吐量理论模型,该时序图如图2砭所示。 R0D8/26-3C60灰色的矩形表示腔体正在忙于加工晶圆,用P表示;箭头表示机械手操作序列,标注表示完成操作序列需要的时间;对于每个灰色矩形前的箭头,它所处行代表机械手操作的目的腔体;灰色矩形后的第一个箭头代表机械手把腔体中的晶圆卸载到晶圆承载室(输入/输出装载室)中。
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