集束型装备是典型的离散事件动态系统,存在各种各样的不确定事件。这些不TBPS0R472J410H5Q确定事件主要是由设备维护、客户需求变化、新产品试制、加工时间波动和设备自动清洗等几方面的原因引起的。不确定事件的发生会影响集束型装备的运行,造成系统性能指标的恶化。集束型装备加工环境的高度不确定性主要体现在以下几个方面。

   设各维护

   设各维护是不可遇见性的突发情况,虽然其发生频率不是很高,但对集束型装备状态的影响很大。在集束型装备内部,其加工模块发生故障时,应先卸载晶圆,返回到冷却模块,再返回至装载室,而在故障工序之后的加工模块的晶圆应继续完成加工。为了平衡工

序的工作负荷,有些工序经常设置多个模块进行加工,这些模块称为并行模块。当并行模块中一个模块出现故障时,加工过程有可能继续进行。但由于模块故障打破了原有的负荷平衡,改变了各工序晶圆的逗留时间,可能使得晶圆滞留时间约束得不到满足。