透射电子:如果被分析的样品很薄.就会有一部分人射电子穿过薄样品而成为透射电子。T0610MH透射电子显微镜(TEM)I作原理是基于透过样品的透射电子带有反映样品特征的信息,经物镜形成一次放大电子图像.再经中间镜和投影镜进一步放大后,在荧光屏上得到最后的电子显微图像。

   扫描电子显微镜的一个非常突出的优点是具有较大的聚焦深度(景深),在相同放大倍率时,扫描电镜的景深比光学显微镜高300倍以上。正因为扫描电镜有上述优点,它能够清楚地观察表面十分粗糙的样品,并且样品制备简单,可以对样品的任何细微结构及其他面 特性放大十几万倍进行观察和分析。相较于光学显微镜,具有景深范围大;相较于透射电子显微镜,具有样品制备方便,可扫描观测面积范围大等优点。已成为集成电路失效分析必不可少的、强有力的日常工具。