Beams2000型EMMI机台,拥有CDD和MCT双探头复合模式和热红外模式EMM1平台
发布时间:2017/11/14 20:42:39 访问次数:1241
微光探头是PEM系统核`b部件,是系统PI74FCT163244A探测灵敏度的决定因素。在深亚微米技术领域,随着设计规则(design rule)及工作电压(supply voltagc)的逐渐减小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面临越来越大的挑战。PEM系统的探测灵敏度成为成功定位的关键参数。遗憾的是,到目前为止,还没有效的定量评估PEM系统探测灵敏度的方法。
PEM探测灵敏度取决于波长、微光探头灵敏度、光学系统的精准度及噪声(常指系统本身固有的寄生热噪音)等。图14,7为二种代表性商用微光探头:CCD、MCT和InGaAs探头量子效率同波长关系图。
微光探头是PEM系统核`b部件,是系统PI74FCT163244A探测灵敏度的决定因素。在深亚微米技术领域,随着设计规则(design rule)及工作电压(supply voltagc)的逐渐减小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面临越来越大的挑战。PEM系统的探测灵敏度成为成功定位的关键参数。遗憾的是,到目前为止,还没有效的定量评估PEM系统探测灵敏度的方法。
PEM探测灵敏度取决于波长、微光探头灵敏度、光学系统的精准度及噪声(常指系统本身固有的寄生热噪音)等。图14,7为二种代表性商用微光探头:CCD、MCT和InGaAs探头量子效率同波长关系图。
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