液晶检测技术:液晶在一百多年前就有记载,是一种既具有液体的流动性,又具有P89LPC935FA晶体各向异性的物质,其较各向同性的液体有序,相对于固态晶体,液晶分子内部及分子间具有较高的流动性。在芯片失效分析中常用的液晶在常温下呈向列相(nematic phase),液晶分子沿一定的优先方向排列。当它受热而温度高于某一临界温度T((相变温度)日寸,液晶分子呈各向同性排列,变成各向同性的液体,而且相变是可逆的。利用液晶的这一特点,可以在正交偏振光下观察液晶的相变点丽检测热点。

   实验时,把约5~?um的液晶,用注射器针头(syringe needle)或剪成尖角的滤纸 (microwipc tissue)将液晶均匀地涂在清洁的芯片表面(正交偏振光显微镜下呈彩虹色),然后把芯片粘贴在样品台上并加偏置。这时应控制样品台的温度,使芯片的温度低于临界温度并接近临界温度(只要缺陷的温度稍微增加就会超过临界温度),再施加合理的偏置条件以激励失效部位。有的文献报道。除了样品台加热外,也使用另外的照明系统以到达非常高的温度敏感性(tcmperaturc sensitivity),如图14.5所示。液晶失效定位时,除r⒈述装置和设定,为了提高液品检测的灵敏度,常加一低频脉冲偏置,脉冲电流使正交偏光下观察到的液晶相变点呈现闪烁(blinking cffcc0效果,脉冲波的占空比(du1y cyclc)起到控制每一周期的热能(heating)和闪烁点(热点)大小的作用。