第一级衍射光同人射光与垂直轴成的夹角相等。离轴照明的方式有很多,如图7.88所示,主要有环形照明(annular)、嫣°四级照明(quasar)、XY轴上四级照明(c quad)、偶极照明以及混合照明。每一种照明方式对光刻工艺的影响都不一样。UC37136M通常,对于任意图形,环形照明 使用的比较多,因为它能够更好地照顾到各种图形的丁艺窗口。如图7.89所示,由于成像需要至少两束光的干涉,环形照明中对成像有贡献的部分仅仅是环形的一部分,剩余部分的衍射光由于没有能够进人光瞳,所以只能够在硅片上起到均匀照明,即形成背景曝光。这种背景曝光如果太大,比如当空间周期变得太接近0.5^/NA,会使对比度变得太小,如图7.90(a)、图7.90(b)所示。

　环形照明在光瞳上的分布函数对成像起作用的部分,为了避免插图显得复杂,这里只画出了右半部分,左半部分的衍射有效部分同右半部分对称。环形照明在光瞳上的分布函数对成像起作用的部分随空间周期逼近分辨率极限而变、空问像对比度也因此变小。图7,90(a)较大空间周期的衍射谱和空间像;图7.90(b)帘问周期在分辨率极限附近(接近0,5^/NA)的衍射谱和空间像;为了避免插图显得复杂,这里只画出了右半部分,左半部分的衍射有效部分同右半部分对称。