进入了深紫外时代,如248nm、193nm,由于DNQ胶对此光波段的强烈吸收,使得人 UC2835D射光无法穿透光刻胶,这将严重影响分辨率。由于需要更加高的分辨率和灵敏度,化学放大光刻胶(Chemically Amplified Resist,CAR)概念被伊藤和威尔逊于⒛世纪80年代初引人1们~“l,其目的是为了改善光刻胶的分辨率和灵敏度。这是由于传统的i线光刻胶通过吸 收光的能量来直接进行溶解率变化反应,这样,当光线从光刻胶顶部向光刻胶底部传播时,会逐渐被吸收。这导致在光刻胶底部的光强不足,会形成如图7.81(a)的梯形形貌。这种形貌会限制分辨率的进一步提升。而化学放大的光刻胶使用完全不同于DNQ的反应原理。它通过使用一种叫做光酸产生剂(Photo-Acid Generator,PAG)的有机化合物, 在深紫外光的照射下,会产生酸分子,而此光酸分子会在一定的温度下(绝大多数化学放大的光刻胶需要加热,由曝光后烘焙实现)催化光刻胶被曝光部分的去保护(deprotection)反应,如图7.82所示。说到这里,我们不得不讲一下化学放大光刻胶的组成。