成像分系统由照明系统、VA0505D主投影镜头以及光强控制子系统组成。照明系统负责将激光或者汞灯的出射光调整为具备一定部分相千性的光,并且将其输送至掩膜版。主投影镜头负责将掩膜版散射的光成像于硅片上。镜头中含有z方向可移动和XY方向可移动镜片。Z方向可移动镜片用来修正轴对称像差,如球面像差(sphcrical abermtion)。y方向可移动镜片用来修正非轴对称像差,如彗星(coma)像差z氵、Zs。有像差的分类和对光刻T艺的影响将在后面讨论。一般248nm的光刻机的均方根(Root Mea⒈轧uare,RMS)像差要求在25~60毫波长范围内,雨193nm光刻机的要求为5~10毫波长范围。5个毫波Κ意味 着在光瞳平面上,任何偏离位相平面的幅度必须在1nn1之内,这给镜头加I提出F极高的要求。Flˉ且,不仅如此,每一个193nm光刻机的镜头都是由30片左右镜片构成,分到每一个镜片上的分摊加△偏差要求就更加高了。