干涉条纹跟踪法是一种平衡测量法。在干涉仪测量镜位置变化时，通过光T7280PC电接收器实时地检测出干涉条纹的变化。同时利用控制系统使参考镜沿相应方向移动，以维持干涉条纹保持静止不动。这时，根据参考镜位移驱动电压的大小可直接得到测量镜的位移，为利用这种原理测量微小位移的干涉测量装置示意图。这种方法能避免干涉测量的非线性影响，并且不需要精确的相位测量装置；但是跟踪系统的固有惯牲限制了测量的快速性，因此只能测量10 kHz以下的位移变化。

   在干涉测量中，干涉条纹也可进行自动分析，通常的做法是，将参考光的相位人为地随时间进行调制（即二次调制），与前面介绍的对被测变量直接进行相位调制形成的干涉条纹相比，这种调相方法称为二次相位调制。它使干涉图上各点处的光学相位变换为相应点处时序电信号的相位，以进行动态相位检测。利用扫描或阵列检测器件分别测得各点的时序变化，就能以优于旯／100的相位精度和100线对/mm的空间分辨率测得干涉条纹的相位分布，从而实现了实时、高精度和自动化检测。常用的干涉条纹动态检测法包括应用电子技术和计算机技术实时提取干涉图信息的外差法、锁相干涉法和条纹扫描干涉法等，与传统的方法即从干涉条纹强度分布来求取相位变化，以获得被测面形的方法不同，它直接对相位进行检测并可实时显示，使检测面形的精度达旯／100以上。这种数字波面干涉术的出现，标志着光学检测技术和仪器达到一个崭新的水平。