离轴照明同样可改善焦深。传统照明时,由于掩膜衍射,有0级、±1级三束光参与成像,在理想焦平面内这三束光的位相差(即光程差)为零。SCD0502T-4R7M-N但离焦时,1级光相对0级光的相位不为零,其大小取决于离焦量和1级光在光瞳上的径向位置,对比度因相位差而受到影响。倾斜照明时0级光与一束1级衍射光参与成像,如果使这两束光与主光轴夹角相等,则离焦时它们之间的位相差为零,理论上不存在有离焦引起的像差。因此离轴照明的焦深有大幅度改善。

   根据不同的掩膜图形,可采用的离轴照明方案包括:二元振幅滤波型、二元位相光栅型、变透过率弱离轴照明。

   但是,离轴照明技术也具有一定的局限性,需要进一步研究和尽可能完善的问题有:光刻图形的边缘情况不理想;对于接近分辨率极限的特征图形邻近效应较严重;能量利用率低;照明均匀性差;对离散线条的像质改进作用不大;分辨率和焦深的改进与图形的方向和疏密有关等。这些缺点都有待于通过进一步研究尽可能排除。