蒸发过程是蒸发源原子(或分子)从固体或液体表面逸出成为蒸气原子的过程。固态物BDCA-10-25质受热(或其他能量)激发,温度升高至熔点,熔化,再升至沸点,蒸发;或者由固态直接升华为气态。

   对大多数金属及化合物源而言,需要加热至熔化之后才能有效地蒸发。只有少数源材料,如Mg、Cd、Zn等是直接升华的。

   在任何温度条件下,固态(或液态)物质周围环境中都存在着该物质的蒸气,平衡时的蒸气压强被称为该物质的平衡蒸气压,又称饱和蒸气压。只有当周围环境中物质的蒸气分压低于它的平衡蒸气压时,才可能有该物质的净蒸发。任何物质的平衡蒸气压都是温度的函数,随着温度升高而迅速增大。图⒏8所示是常用金属的平衡蒸气压温度曲线。

   式中,σ为液态物质表面张力;N为阿伏伽德罗常数;乃为玻耳兹曼常数;T为热力学温度;ΔHv为蒸发焓,是物质从液态到气态的变化过程中(温度不变化)所吸收的热量,又称为气化潜热。在蒸镀真空室中,源被加热,只有当处于加热温度的源的平衡蒸气压值高于室内源蒸气的分压时 才会有净蒸发。图⒏9所示是蒸镀真空室示意图,真空室内源的加热温度越高,其平衡蒸气压就高于室内源蒸气分压越多,蒸发速率也就越快。为了获得合理的源蒸发速率,工程上规定在平衡蒸气压为1.333Pa时的温度为该物质的蒸发温度。例如,铝的蒸发温度是125O℃;而难熔金属钨的蒸发温度超过3000℃,因而蒸发钨这类难熔金属必须提供更多能量将其加热到很高的温度。