在MKS单位制中,气体压力以帕(Pa)为基本单位,在有些书籍和真空设备中也常用托(torr)表示,l torr=133,32Pa。真空度与大气压(atm)的换算关系:1atm=01MI)a,1蔽m=760torr。如图⒏3所示是旋转叶片式机械泵的剖视图,BCM5753KFBG机壳内偏心的转子转动,叶片由人口端捕捉的气体,随着叶片转动和气体通道体积的缩小被压缩,当叶片转至气体出口端时出口阀打开,气体排出。在机壳内装有泵油,一是用来封闭机壳和叶片之间的空隙,避免气体由高压出口进人低压人口;二是起润滑作用。机械泵是初级真空设备,一般I作在一个大气压下,入口端的极限真空度可达101Pa。如图84所示是使用最多的机械泵照片。

    高真空、超高真空的获得通常是在初级泵气体入口端串接次级泵,即由两级或二级,甚至更多级泵系统构成。常用的次级泵是扩散泵,如图85所示是扩散泵剖面照片。扩散泵的工作方式是通过加热器为泵体底部的扩散泵油加热使之挥发,蒸气流从中央叠塔部的孔洞喷出,碰到已被水冷的泵 体后立即凝结回流至泵体底部,如此循环。而从气体人口流人的气体分子扩散到泵油蒸气流中,并被裹挟在泵油中流向泵体下部浓集,之后被与气体出口相连的初级泵抽走。扩散泵是通过泵油向气体分子转移动量,从而实现气体分子被抽吸排出的。扩散泵的压缩比可达10:,一般工作在1~106Pa真空度范围。如果气体入口压力在分子流范围,扩散泵有很高的抽速。大多数扩散泵是不能在大气中T作的,否则泵油会和空气中的氧气发生化学反应被氧化而失效。扩散泵在使用不当的情况下,油蒸气不是在泵中凝结,而是回流进入真空室或后级泵,造成污染。扩散泵系统可以使用隔离或者冷阱来清除大多数回流的泵油,因为这个原因,当需要非常高的洁净度时,一般不采用扩散泵。