求下列条件下的固溶度与扩散系数:

   ①B在1050℃;②P在950℃。

   在硅衬底上975℃,30min预淀积磷,当衬底为O.3Ω・cm的lD⒏时:

   ①求结深和杂质总量; OJ-451S-N23

   ②若继续进行再分布,1100℃,50min,求这时的结深和表面杂质浓度。

   硼注人,峰值浓度(RP)在0,1um处.注入能量是多少?

   在1000℃工作的扩散炉,温度偏差为±1℃,扩散深度相应的偏差是多少?假定是高斯扩散。

   对n区进行P扩散,使α=1000G。证明:假定是恒定源扩散,结深与(Dr)告成正比,请确定比例因子。

   什么是硼的逆退火现象?

   什么是沟道效应?如何才能避免?

   在1050℃湿氧气氛生长1um厚氧化层,计算所需时间。若抛物型速率系数与氧化气压成正比,分别计算5个、20个大气压下的氧化时间c

   在P⒊中扩磷13min,测得结深为0.5um,为使结深达到1.5um,在原条件下还要扩散多长时间?然后,进行湿氧化,氧化层厚0.2um时,结深是多少?(湿氧速率很快,短时间的氧化,忽略磷向硅内部的推进。)

   3O keV、10⒓ions/cm2Bll注入s中,求峰值深度和峰值浓度。O.3um处浓度是多少?