因碰撞而离开晶格位置的原子称为移位原子。注人离子通过碰撞把能量传递给靶原子核及其电子的过程,称为能量淀积过程。一般来说, M62446AFP能量淀积可以通过弹性碰撞和非弹性碰撞两种形式进行。如果人射离子在靶内的碰撞过程中,不发生能量形式的转化,只是把动能传递给靶原子,并引起靶原子的运动,总动能是守恒的,这样的碰撞称为弹性碰撞;如果在碰撞过程中,总动能不守恒,有一部分动能转化为其他形式的能,例如,人射离子把能量传递给电子,引起电子的激发,这样的碰撞称为非弹性碰撞。

   实际上,上述两种碰撞形式是同时存在的。只是当人射离子的能量较高时,非弹性碰撞过程起主要作用;人射离子的能量较低时,弹性碰撞占主要地位。在集成电路制造中,入射离子的能量较低,以弹性碰撞为主。碰撞的结果可能产生移位原子,使一个处于平衡位置的原子发生移位所需要的最小能量称为移位阈能,用Ed表示。人射离子在与靶内原子碰撞时,可出现三种情况:①如果在碰撞过程中,传递的能量小于马,另阝么,就不可能有移位原子产生。被碰原子只是在平衡位置振动,将获得的能量以振动能的形式传递给近邻原子,表现为宏观的热能。②在碰撞过程中靶原子获得的能量大于风而小于2Ed,那么被碰原子本身可以离开晶格位置,成为移位原子,并留下一个空位。但这个移位原子离开平衡位置之后,所具有的能量小于Ed,不可能再使被碰的原子移位。③被碰原子本身移位之后,还具有很高的能量,在它的运动过程中,还可以使被碰撞的原子发生移位。

   移位原子也称为反冲原子,与人射离子碰撞而移位的原子,称为第一级反冲原子。与第一级反冲原子碰撞而移位的原子,称为第二级反冲原子.以此类推。这种不断碰撞的现象称为“级联碰撞”。结果是使大量的靶内原子移位,产生大量空位和间隙原子,导致晶格损伤。对于同一样品(靶),不同的注入离子其产生的级联碰撞情况是不同的。