在非晶靶中,原子不显示长程有序,故人射离子在靶中受到的碰撞过程是随机的。当离子PG905C4RR人射到这种固体时,离子和固体原子相遇的概率是很高的。靶对入射离子的阻止作用是各向同性的,以一定能量的离子沿不同方向射人靶中将会得到相同的平均射程。但晶体材料不是这样,由于晶体内按一定规则周期地重复排列成晶格点阵,存在三维原子排列,具有一定的对称性和各向异性。因此,单晶靶对人射离子的阻止作用将不是各向同性,而是与靶晶体取向有关。以s为例(如图613所示是其不同晶向的原子排列),如果沿晶体的某些方向看去,如图613(a)所示,可以看到由原子列包围成的一系列平行通道,沿一定晶向存在开口的沟道。沿特定方向观察到的通道称为沟道。对于低指数的晶向,原子沿原子列的排列是很紧密的,因此沟道壁是由紧密地排列着原子的原子列所构成的。当偏离晶向观察时,则可看到原子的排列是紊乱的,而且填得很“紧密”(尤其偏离较大时),如图613(b)所示。离子在这种情况下入射时,必然要与靶原子和电子发生严重的碰撞,受到较大的阻止作用,甚至发生大角度散射。所以,离子在偏斜晶轴较大的情况下入射,射程较短,其晶体几乎呈现出无定形性质。