对光斑的形状无严格要求
发布时间:2017/1/26 17:47:13 访问次数:522
①对光斑的形状无严格要求,即输出信号与光的聚焦无关,只与光的能量中心位置有关, JS28F128P30B85这给测量带来很多方便;
②光敏面上无须分割,消除了死区,可连续测量光斑位置,位置分辨率高,一维PSD可达0.2 ym;
③可同时检测位置和光强。PSD器件输出总光电流与入射光强有关,而各信号电极输出光电流之和等于总光电流,所以从总光电流可求得相应的入射光强。
光电位置传感器广泛地应用于激光束的监控(对准、位移和振动)、平面度检测和二维位置检测系统。
但是,PSD器件的固有特性决定了其具有非线性(图9.44所示为型号为S1544的PSD,光斑直径为200 ym时的非线性)。PSD的线性度主要取决于在制造过程中表面扩散层和底层材料电阻率的均匀性,以及有效的感光面积等多种因素,而且非线性没有明确的公式作为依据。一般而言,在距离中心2/3的范围内PSD的线性度较好。以浙江大学研究的国内领先的PSD为例,对于二维测量,PSD光敏面面积为3mmx3 mm.四边形结构,中央60%有效光敏区域的均方根非线性达到0.15%。如果将此器件应用于大尺寸测量的位置探测,则光斑直径不能大于1.8 mm,否则必须在PSD前方加入透镜聚焦,这无疑增加了系统的误差。
①对光斑的形状无严格要求,即输出信号与光的聚焦无关,只与光的能量中心位置有关, JS28F128P30B85这给测量带来很多方便;
②光敏面上无须分割,消除了死区,可连续测量光斑位置,位置分辨率高,一维PSD可达0.2 ym;
③可同时检测位置和光强。PSD器件输出总光电流与入射光强有关,而各信号电极输出光电流之和等于总光电流,所以从总光电流可求得相应的入射光强。
光电位置传感器广泛地应用于激光束的监控(对准、位移和振动)、平面度检测和二维位置检测系统。
但是,PSD器件的固有特性决定了其具有非线性(图9.44所示为型号为S1544的PSD,光斑直径为200 ym时的非线性)。PSD的线性度主要取决于在制造过程中表面扩散层和底层材料电阻率的均匀性,以及有效的感光面积等多种因素,而且非线性没有明确的公式作为依据。一般而言,在距离中心2/3的范围内PSD的线性度较好。以浙江大学研究的国内领先的PSD为例,对于二维测量,PSD光敏面面积为3mmx3 mm.四边形结构,中央60%有效光敏区域的均方根非线性达到0.15%。如果将此器件应用于大尺寸测量的位置探测,则光斑直径不能大于1.8 mm,否则必须在PSD前方加入透镜聚焦,这无疑增加了系统的误差。
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