光刻质量控制
发布时间:2016/6/12 22:05:32 访问次数:1757
(1)光刻胶的质量控制。光刻胶A3250_06的质量控制主要体现在黏附性、胶膜厚度等方面。(2)对准和曝光的质量控制。对准和曝光的质量控制主要体现在光源的强度、光源的聚焦、图形的分辨率和投影掩膜版的质量控制上。(3)显影检查。显影检查是为了找出光刻胶中成形图形的缺陷。继续随后的刻蚀或掺杂之前必须进行显影检查以去除有缺陷的晶圆。
(1)光刻胶的质量控制。光刻胶A3250_06的质量控制主要体现在黏附性、胶膜厚度等方面。(2)对准和曝光的质量控制。对准和曝光的质量控制主要体现在光源的强度、光源的聚焦、图形的分辨率和投影掩膜版的质量控制上。(3)显影检查。显影检查是为了找出光刻胶中成形图形的缺陷。继续随后的刻蚀或掺杂之前必须进行显影检查以去除有缺陷的晶圆。
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