净化间内的污染源是指任何影响产品生产或产品功能的一切事物。H30R1202由于固态器件的要求较高，所以就决定r它的洁净度要求远远高于大多数其他工业的洁净程度。实际上生产期间任何与产品相接触的物质都是潜在的污染源。主要的污染源有：

   1．空气

   2．厂务设备

   3．净化间工作人员

   4．工艺使用水

   5．r艺化学溶液

   6．工艺化学气体

   7．静电

   8．工艺设备

   每种污染源产生特殊类型和级别的污染，需要对其进行特殊控制以满足净化间的要求。，

   普通空气中含有许多污染物，只有经过处理后才能进入净化问。最主要的问题是含有在空气中传播的颗粒，…般指微粒( particulate)或浮尘(aerosol)。普通空气包含大量的微小颗粒或粉尘，微小颗粒（也称为浮尘）的主要问题是在空气中长时间飘浮．：而净化间的洁净度就是由空气中的微粒大小和微粒含量来决定的。

   美国联邦标准209E规定空气质量由区域中空气级别数(class number)来表示5。标准按两种方法设定，一是颗粒大小，二是颗粒密度。区域中空气级别数是指在l立方英尺㈩中所含直径为0.5ht,m或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟、雾、气。每立方英尺有多达500万个颗粒，所以是500万级。随着芯片部件尺寸的更新换代，不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒6“I。