基于新材料的纳米结构的红外气体传感器，能满足低功耗、高灵敏检测环境，AT91M40800-33AI并便于集成；集成多敏感元件与光源于一体的气体传感器，能够解决许多环境中局限一种气体检测的难题，MEMS窄带光谱式光源的集成，能解决以往宽光谱光源引起的高功耗问题，实现超微功耗的微集成技术，满足物联网、复杂环境对微红外多气体传感器的发展需求。

   图8-9所示为多气体微纳共面集成芯片结构设想模型。所设计的多气体微纳传感器的敏感元件和红外光源处于同一个平面上，由四个敏感元件和一个红外光源组成。四个敏感元件中，敏感元1、2、3分别作为测试单元，参比敏感元作为参考单元，起参比及补偿作用。传感器的制作采用MEMS工艺。预期该芯片可以实现三种气体（如CH。、C02、CO）的探测，该设计构想的研究与发展，将为物联网的高速发展和新型传感器向低功耗、小体积方面发展的趋势提供参考思路。

   图8-9共面集成微纳多参数敏感芯片结构