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MEMS麦克风传感器NJD3002是装配了挡板和薄膜振动电容器的硅麦克风

发布时间:2019/4/20 10:45:00 访问次数:293 发布企业:深圳市和谐世家电子有限公司

MEMS麦克风传感器构造 transducer

MEMS麦克风传感器NJD3002是装配了挡板和薄膜振动电容器的硅麦克风。芯片尺寸是1.3mm正方块,厚度是0.4mm。振动薄膜直径有750um,下面成空洞状态。一般情况下,MEMS传感器越小型化,感应灵敏度会越降低。可是本公司的产品在薄膜的振动方法上进行了改良,创新出的新技术同时实现了小型化和高感应灵敏度。今后的新产品会在新技术的基础上更加提高精度。

MEMS麦克风传感器NJD3002的构造图及工作原理图如下图所示。


microphone microphone
microphone

MEMS麦克风传感器是利用空洞上贴敷的薄膜和挡板形成一个电容器,人的声音会使MEMS传感器薄膜振动,直接导致该电容的变化,也就是说NJD3002的直接作用是将音压转换为电气信号,然后将电气信号传输到后续电路处理。(包含放大、AD转换的ASIC专用集成电路模块)

返回顶部 MEMS麦克风放大器 amplifier

本公司的MEMS麦克风放大器有模拟输出和数字输出的2种类型。对应模拟输出的放大器已经量产,销售业绩很可观。对应数字输出的放大器在减少噪声方面会有所改进,还在研发中。新日本无线长期积累的模拟技术有很强的竞争优势,特别是在低功耗、高SNR性、高集成度等方面,这种强劲的性能优势也应用到了MEMS麦克风放大器上。


本公司所提供的模拟输出的和数字输出的2种MEMS麦克风放大器的内部构造图及应用图如下图所示。


模拟输出MEMS麦克风放大器 数字输出MEMS麦克风放大器
microphone microphone
NJU72084 NJU9553 (研发中)

模拟输出MEMS麦克风放大器的内部构造共有3块部分组成,基准电路(VREG)及电荷泵(Charge Pump)和前置放大器(PREAMP)。
基准电路是生成基准电压,供电荷泵电路使用。电荷泵是把基准电压增大数倍形成偏置电压用于驱动MEMS麦克风传感器使用。而前置放大器是把MEMS麦克风传感器传来的模拟信号经阻抗转换输出,也起到增益调整作用。

数字输出MEMS麦克风放大器是在模拟输出MEMS麦克风放大器的基础上又在前置放大器(PREAMP)的后续电路上增加有ΔΣ调制电路,作用是把模拟信号转换为PDM信号(脉冲密度调制信号)输出,直接可以接编码器或者DSP进行数字处理,能很好的保证走线上具有良好的数字信号完整性。数字MEMS麦克风放大器的特点有传输的是数字信号会比模拟信号可以很大程度的提高其抗干扰能力,这样就可以简化系统设计。

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