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TrekPower

发布时间:2018-7-11 9:47:00 访问次数:114 发布企业:北京杰创宏达电子有限公司


Trek高压电源高电压放大器
我们提供电压和电流范围广泛的高压放大器系列,以适应各种苛刻的应用。许多模型包括自动交叉遵守限制或当前跳闸保护关机功能。长途跋涉高压放大器防止输出短路和过电压。在某些应用中,这些放大器用作高压电源。

Trek高压电源旅行模式645
2千伏静电卡盘电源
输出相位:
电压A(基准相):
电压B(相位b=[1]x相位a):
输出电压范围:
输出电流范围:
0~2千伏
0~2千伏
0~2千伏
0~6.5mA直流,峰值功率为10mA。

Trek高压电源跋涉645型软件驱动的静电卡盘电源提供了一系列功能,提供了巨大的好处,同时满足各种苛刻的应用程序。文件使用表明,客户已看到效率和吞吐量的增加相当于其他供应的三倍。此外,该模型645实际上消除了粘性晶圆和晶圆弹出问题,从而确保更好地控制颗粒污染。
考虑到模型645的多功能性和性能,它可以被用于多种独特的工具/过程中,从而消除了在一个设备中为每个独特的工具/过程指定新的供应的需要。典型的应用包括静电驱动材料搬运半导体晶片加工对机械剪切敏感的平板或其它加工材料的非机械转移。

Trek高压电源特点和优点
库仑和JohnsenRahbekESC技术支持可定制的夹具和开放序列和波型用户静电卡盘配置文件可以上传到单元并通过用户友好的软件接口存储在内部,减少背面气体误差、增加吞吐量和消除粘性/爆裂晶片的记录锁定前面板控制接口
能够控制参数,如过电流,晶圆目前和晶圆钳位阈值,钳位电压,失调电压和内部或外部振幅/偏移控制。晶圆检测包括无晶圆、晶圆目前或晶圆夹持状态,包括在过程中可调幅度/偏移量和输出控制的多功能性输出可以通过背板I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制,NIST可追溯校准证书提供每一个单位。


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