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EP4CE30F29I8LN-1

发布时间:2016/8/23 14:45:00 访问次数:571 发布企业:深圳市毅创腾电子科技有限公司

型号:EP4CE30F29I8LN-1

品牌:ALTERA

封装:BGA

电话:0755-83210909 / 83210801 朱小姐

利用创新的双重影像技术,Teron 640 检测系统给光罩厂提供了必需的灵敏度,以对先进的光学光罩进行精準的品质检定。Teron SL655 检测系统採用全新的 STARlightGold? 技术,协助积体电路製造商评估进料光罩的品质,监测光罩恶化,并检测对良率至关重要的光罩缺陷。由 Teron 检测机台所呈现的全面性光罩品质测量是由光罩决策中心 (RDC) 支援的,RDC 是一套资料分析与管理系统,具备多种功能,支援缺陷的自动分类处理决策,缩短生产週期,并减少会影响良率的与光罩相关的光罩图案错误。

KLA-Tencor 的光罩产品事业部 (RAPID) 副总裁兼总经理熊亚霖博士称:「今天的复杂的成像技术,例如隔板辅助四层成像 (SAQP),採用越来越复杂的光罩,这使得检定光罩品质并维持光罩状况以实现最佳晶圆图案成像至关重要。我们的团队已经研发出最先进的光罩检测与资料分析技术,将满足目前和下一代的光罩设计的需求。透过将 Teron 640 和 Teron SL655 产生的丰富资料与 RDC 的评估功能结合起来,光罩和积体电路晶圆厂能够更高效地辨识微影中显着的光罩缺陷,进而改善光罩品质控制,并获得更好的产品图案成像。」

Teron 640 建立在光罩业界领先的 Teron 光罩检测平台之上,透过採用193 奈米光照和双影像模式-结合了高解析度检测和基于空间影像(aerial image)曝印性(printability) 之缺陷识别-支援先进的光学光罩检测。此外,Teron 640 还加强了先进的晶粒对资料库 (die-to-database) 检测演算法,以进一步提升缺陷灵敏度,并提供新的更高产能选项,以缩短获取结果的时间。多套 Teron 640 光罩检测系统已经安装在晶圆代工厂和逻辑电路工厂中,用于高效能光罩的品质控制。

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