制程所需氮气出现状况
发布时间:2017/7/5 12:44:38 访问次数:28614
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据台湾科技新报报道，近日传出厂房制程所需的氮气出状况，造成逾半晶圆报废，厂房目前仍处停工状态，接下来 dram 供货恐受影响。
根据科技新报取得的消息，华亚科厂房近日传出制程所需氮气出现状况，气体污染造成约 6 万片晶圆报废，华亚科厂房为双子星结构，一厂可容纳两座 12 t 厂，两厂月产能可达 12 万片以上，此次逾半产能晶圆报废，影响不可谓小。
最新消息，美光桃园厂营运长叶仁杰对此事件严正否认。 他表示，美光桃园厂并没有任何氮气外泄事件，气体皆在管线中，仅是些许厂务问题，一切事件都在控制之中，没有任何的工安问题，且厂务也快速修复完工，对于产能完全没有任何影响。http://jqn168.51dzw.com
半导体市场目前已进入拉货旺季，不论是移动型dram、利基型dram及标准型dram等市场反应皆渐趋热络，因此，只要厂房出现些许状况，市场都会对其特别关注，无论先前韩国lgd的厂房问题，或是武汉新芯的nor flash污染事件。
来源：集微网
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来源：集微网
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