电涡流传感器探头系列
电涡流传感器探头系列属性
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电涡流传感器探头系列描述
电涡流传感器探头系列
量 程: 0.05~63.5mm
分 辨 率: 最高0.1μm
工作温度: 范围1. -55~+105℃
范围2. -269~+204℃
特点: 可配各种模拟信号处理器.探头壳体由不锈钢和工程塑料PEEK制成.用双探头和差动传感器组成系统可降低温度.辐射和其他环境影响。
KD5100纳米级差动电涡流传感器
分 辨 率: 最高1nm
(每通道两个传感器精确匹配使用)
线 性 度: 最高±0.1%
测量范围: ±0.889mm/±1.905mm
长期稳定性: 1.27x10(-4次方)月
应用: 差动测量.低温真空应用.超高精度宇航应用.商业差动.中继镜片激光定位.半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦.精确望远镜定位.磁悬浮轴定位。